能源研究技術(shù)平臺新購置的聚焦離子束-電子束雙束顯微鏡已經(jīng)完成安裝調(diào)試和價(jià)格公示,定于4月25日起面向所內(nèi)外用戶開放試運(yùn)行,試運(yùn)行時(shí)間三個(gè)月(4月25日至7月25日),試運(yùn)行期間所有測試半價(jià)收費(fèi)。請用戶登錄科研儀器管理系統(tǒng)(IMS)搜索“聚焦離子束-電子束雙束顯微鏡” 進(jìn)行在線預(yù)約。
一、功能介紹
聚焦離子束-電子束雙束顯微鏡能夠進(jìn)行固體樣品表面形貌觀察,并且能夠?qū)Σ牧线M(jìn)行微納級別的定點(diǎn)加工與表征,實(shí)現(xiàn)截面分析成像及透射樣品制備等。該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體、分子篩、 電池、 薄膜等能源催化材料。
二、設(shè)備主要功能配置
1. 電子束系統(tǒng)
2. 離子束系統(tǒng)
3. 二次電子/背散射電子探頭
4. 氣體注入系統(tǒng):Pt、C等
5. 能譜儀EDS
6.?電子背散射衍射儀EBSD
三、 主要參數(shù)
1.?離子源種類:液態(tài)Ga離子源
2.?離子源加速電壓:0.5kV - 30 kV
3.?束流強(qiáng)度:1pA - 100nA
4.?電子束加速電壓:200V - 30kV
5.?電子束流強(qiáng)度:可用范圍優(yōu)于 5pA - 20nA
6.?交叉點(diǎn)工作距離:4mm。
四、 聯(lián)系方式
儀器放置地點(diǎn):西山湖園區(qū)2號樓104房間
儀器管理員:曲江珊
聯(lián)系電話:18766421826
電子郵箱:jiangshanqu@dicp.ac.cn






