報(bào)告時(shí)間：2024 年12月18日（星期三）下午2:00
報(bào)告地點(diǎn)：能源基礎(chǔ)樓一樓會(huì)議室
報(bào)告人：張開(kāi)鋒 研究員，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所
報(bào)告摘要：
微納顯微技術(shù)及儀器對(duì)半導(dǎo)體材料研究與工業(yè)制造不可或缺。針對(duì)半導(dǎo)體芯片等微電子制品在生產(chǎn)研發(fā)中的表面形貌、局域組分分布、光電磁等在內(nèi)的微觀不均勻性的測(cè)量需求，開(kāi)發(fā)了軟磁碳纖維探針和磁力顯微鏡工況磁場(chǎng)檢測(cè)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)硬盤(pán)磁頭工況高頻磁場(chǎng)的高速、高精度測(cè)量，填補(bǔ)了硬盤(pán)制造領(lǐng)域早期在線(xiàn)磁場(chǎng)檢查的國(guó)際空白；發(fā)展了掃描電鏡原子力顯微鏡集成測(cè)量設(shè)備和碳納米線(xiàn)探針，克服了環(huán)境噪聲等技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了單機(jī)半導(dǎo)體芯片3D測(cè)量；發(fā)明了等離激元波導(dǎo)針尖并開(kāi)創(chuàng)了低背景針尖增強(qiáng)拉曼方法，解決了無(wú)法測(cè)量高背景材料的難題。
報(bào)告人簡(jiǎn)介：
張開(kāi)鋒，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所研究員，博士生導(dǎo)師。日本京都大學(xué)電子工學(xué)專(zhuān)業(yè)博士。國(guó)家級(jí)領(lǐng)軍人才引進(jìn)計(jì)劃獲得者。曾在世界500強(qiáng)企業(yè)日本最大綜合電氣企業(yè)-日立集團(tuán)直屬研究開(kāi)發(fā)中心長(zhǎng)期從事微納顯微技術(shù)的研究及相關(guān)工業(yè)級(jí)儀器設(shè)備的研發(fā)工作。針對(duì)半導(dǎo)體芯片等微電子制品在生產(chǎn)研發(fā)中的表面形貌、局域組分分布、光電磁等在內(nèi)的微觀不均勻性的測(cè)量需求，負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)了全球唯一應(yīng)用掃描探針顯微鏡技術(shù)的在線(xiàn)全數(shù)檢查設(shè)備和全球首臺(tái)半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)用電子顯微鏡與掃描探針顯微鏡聯(lián)用三維量測(cè)系統(tǒng)。發(fā)明了等離激元波導(dǎo)針尖并開(kāi)創(chuàng)了低背景針尖增強(qiáng)拉曼方法，解決了無(wú)法測(cè)量高背景材料的難題。在日立集團(tuán)工作的15年間，以第一發(fā)明人申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利50余件，發(fā)表SCI論文10余篇。開(kāi)發(fā)設(shè)備在TDK、西部數(shù)據(jù)、英特爾等知名存儲(chǔ)和芯片制造商被實(shí)際應(yīng)用。于2024年10月全職回國(guó)加入中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所機(jī)器人與智能系統(tǒng)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，組建微納光學(xué)量測(cè)與表征課題組。
聯(lián)系人：505組 毛佳
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